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日本f-ohtsuka大塚ESC靜電卡盤精密清洗機(jī)該系統(tǒng)是對應(yīng)粒子去除、離子去除等超精密清洗需求的工業(yè)清洗裝置。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2026-01-30訪 問 量：15
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日本f-ohtsuka大塚ESC靜電卡盤精密清洗機(jī)
日本f-ohtsuka大塚ESC靜電卡盤精密清洗機(jī)
| 步驟 | 工位名稱 | 說明 |
|---|---|---|
| ① | 清洗劑浸漬清洗 | 化學(xué)浸泡清洗槽（泵P+過濾器B循環(huán)） |
| ② | 清洗劑浸漬清洗 | 二次清洗劑浸泡（內(nèi)置加熱器） |
| ③ | 一次漂洗 | 一次純水漂洗 |
| ④ | 一次漂洗 | 第二次純水漂洗（配活性炭AC+預(yù)過濾器PF+離子交換樹脂VC） |
| ⑤ | 精漂洗 | 最終純水漂洗（高潔凈度） |
| ⑥ | 吸收干燥 | 吸收式干燥處理（配空氣刀+油霧分離器+加熱器） |
| ⑦ | 溫純水提升 | 使用溫純水進(jìn)行提拉脫水（配真空泵VP） |
| ⑧ | HFC干燥 | 氫氟碳化合物干燥（配冷卻器+鼓風(fēng)機(jī)） |
| ⑨ | HFE干燥 | 氫氟醚干燥（配換熱器） |
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